Пекин сделал заметный шаг к технологической независимости: в стране запущено массовое производство собственных установок иммерсионной ДУФ-литографии — оборудования, без которого невозможно печатать современные микросхемы. Пока это не угроза голландскому монополисту ASML, но страховка на случай нового витка санкций.
Источник, знакомый с ситуацией, рассказал Reuters: массовый выпуск литографических машин глубокого ультрафиолета (DUV) уже начался, написал xrust. За производством стоит малоизвестная государственная структура — Shanghai Aishengna Electronic Technology Group. Компания настолько закрыта, что у неё даже нет сайта, а о своей деятельности она публично не сообщает ничего.
Тем не менее корпоративные документы кое-что раскрывают. Aishengna зарегистрирована в августе 2023 года с уставным капиталом около 7 млрд юаней — это примерно 1 миллиард долларов, или свыше 90 млрд рублей по текущему курсу. Учредителей всего два, и оба государственные: Shanghai Electric Holding и структура, аффилированная с Shanghai International Trust.
Костяк команды собрали из двух источников: литографического стартапа Yuliangsheng, который ещё в прошлом году испытывал прототип DUV-установки, и компании Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE). Примечательная деталь: по кадровым и корпоративным документам, Aishengna и Yuliangsheng зарегистрированы по одному и тому же шанхайскому адресу. Yuliangsheng, в свою очередь, — «дочка» SiCarrier, производителя оборудования, который поддерживает Huawei.
Ни сама Aishengna, ни её акционеры, ни SMEE, ни Yuliangsheng на запросы о комментариях не ответили.
Первым о разработке написало отраслевое издание The Information — оно и раскрыло планы по объёмам: около пяти установок в этом году и порядка 20 — в 2027-м. А вот кто именно владеет компанией, первым выяснил уже Reuters.
По данным The Information со ссылкой на источники, первые машины китайского производства уже в этом году должны получить крупнейшие местные производители чипов — Semiconductor Manufacturing International Corp (SMIC), Hua Hong Semiconductor и производитель памяти ChangXin Memory Technologies (CXMT). Ни один из них запросы на комментарий не удовлетворил.
Иммерсионная литография глубокого ультрафиолета — не самая передовая технология (вершина индустрии — это EUV-машины ASML), но крайне востребованная. Суть метода: между проекционным объективом и кремниевой пластиной помещается слой воды, что позволяет печатать более мелкие элементы схемы, чем при обычном «сухом» облучении. Такие установки применяются для широкого спектра чипов, а с помощью многократного нанесения рисунка на них можно производить и достаточно продвинутые полупроводники.
По словам источника Reuters, шанхайская установка Aishengna ещё нуждается в доработке и испытаниях и пока заметно уступает конкурирующим моделям ASML. Но в случае успеха у китайских производителей появится собственный запасной вариант — на случай, если западные страны ещё туже затянут экспортный контроль или ограничат обслуживание уже поставленной техники.
Новость The Information в понедельник обвалила акции ASML на 8%. Ко вторнику, к 09:06 по Гринвичу, бумаги теряли ещё 1,6% — в целом в русле динамики других европейских производителей чипового оборудования, хотя и хуже общего европейского индекса STOXX 600.
Впрочем, паника рынка, по мнению аналитиков, выглядит преувеличенной. В своей записке инвесторам аналитики JPMorgan Chase указали: выпуск нескольких пробных установок иммерсионной литографии — это совсем не то же самое, что налаживание техники, готовой к полноценному массовому производству, где решающую роль играют выход годных пластин, точность совмещения слоёв, производительность и стабильная работа при обработке тысяч пластин подряд.
Курс на технологическую самостоятельность в полупроводниковой отрасли — один из личных приоритетов председателя КНР Си Цзиньпина, и нынешнее событие вписывается в эту стратегию. США уже закрыли Китаю доступ к самым современным EUV-системам ASML, а голландский экспортный контроль ограничил поставки и части продвинутых DUV-машин.
При этом сам Китай остаётся критически важным рынком для ASML: на страну приходится порядка 16% чистой выручки компании за первое полугодие. Формально отрезанные от передовых EUV-систем, китайские производители продолжают активно закупать менее совершённые DUV-установки — то есть именно тот класс техники, который теперь пытаются заместить собственными силами.
Стоит вспомнить и декабрьскую публикацию Reuters: тогда со ссылкой на источники сообщалось, что Китаю удалось создать прототип уже EUV-системы — инструмента для производства самых передовых чипов в мире. До серийного выпуска такой техники, впрочем, ещё несколько лет.
Источники: